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名称:济南欧尚节能设备有限公司
联系人:徐先生
手机:13954168066
电话:0531-88167706
传真:0531-88167707
E-mail:13954168066@163.com

产品展示  
【干式无油真空泵】
 随着真空获得技术的发展,真空应用日渐扩大到工业和科学研究的各个方面。真空应用是指利用稀薄气体的物理环境完成某些特定任务。有些是利用这种环境制造产品或设备。这些产品在使用期间始终保持真空;而另一些则仅把真空当作生产中的一个步骤,最后产品在大气环境下使用,如真空镀膜、真空干燥和真空蒸馏等。

爪形干式无油真空泵的应用主要有以下几个方面:
 1.低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺中;
 2.半导体刻蚀工艺,在这些生产工艺中往往用到或生成腐蚀性气体和研磨微粒;
 3.除半导体工艺外的某些产生微粒的工艺,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,则用一定型式的干式机械真空泵可以满足要求;
 4.在石化工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等,要防止有机溶剂造成污染,适合用干式真空泵;
5.用做一般无油清洁真空系统的前级泵,以防止油污染;
6.可以在苛刻的环境下使用;
7.可以直接从大气压起动。

产品参数与型号表

 型号-参数

 OS-4

 OS-8

 OS-30

 OS-70

 OS-110

 OS-150

 抽速(单位:L/S)

 4

 8

 30

 70

 110

 150

 极限真空(单位:Pa)

 3

 3

 3

 3

 3

 3

 满载功率(单位:Kw)

 0.75

 1.1

 3

 7.5

 11

 15

输入电压(单位:V)

 380

 380

 380

 380

 380

 380

 噪音(单位:dB)

 <65

 <65

 <72

 <75

 <78

 <80

冷却水流量(单位:L/H)

 200

 200

 350

 800

 900

 1000

D1(单位:mm)

70

70

110

165

165

165

d1(单位:mm)

55

55

90

125

125

125

DN1(单位:mm)

25

25

55

100

100

100

 n1-φm1(单位:mm)

4-φ6.5

4-φ6.5

4-φ9

6-φ9

6-φ9

6-φ9

 D2(单位:mm)

60

60

90

165

165

165

 d2(单位:mm)

45

45

70

125

125

125

DN2(单位:mm)

16

16

32

100

100

100

n2-φm2(单位:mm)

4-φ6.5

4-φ6.5

4-φ9

6-φ9

6-φ9

6-φ9

【使用范围】
1.化学气相沉积,刻蚀,磁控溅射,离子注入,灰化;
2.液晶显示,等离子体显示,锂电池,有机发光二极管;
3.石油,化工,食品,制药领域的真空蒸馏,蒸发,结晶,干燥,过滤等4.航空航天。
【特 点】
1.结构紧凑,无油无污染;
2.气路短,抗腐蚀,抗粉尘和液体能力强;
3.降低了横波劣震动,噪声低;
4.维护简单,费用低。

成功应用


制药工业


精细化工


食品饮料


乳品工业


暖通空调


其他领域

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